拋棄式與膠囊式濾心
半導體級 All PTFE 全氟拋棄式濾心
產品編號: semi-grade-all-ptfe-disposable-capsule-filter|Semi-grade All-PTFE
專為半導體濕製程設計的旗艦級全氟濾芯。採用高流速 PTFE 濾膜搭配 PFA 骨架，具備 10nm 至 0.2µm 的精密攔截能力。耐受 SC1, SC2, 49% HF, HNO3 與 NMP 等極端化學品，提供超低溶出物與卓越的耐溫性 (最高 180°C)，是先進製程良率的守護者。
- 高流速 PTFE 膜搭配 PFA 骨架
- 10nm 至 0.2µm 精密攔截
- 耐受 SC1/SC2/49% HF/HNO3/NMP
- 超低溶出物
- 耐溫最高 180°C
應用場景
半導體濕製程化學品過濾
49% HF 氫氟酸過濾
SC1/SC2 清洗液過濾
HNO3 與 NMP 溶劑過濾
先進製程良率管控
常見問題
全氟結構有什麼優勢？
PTFE 膜搭配 PFA 骨架的全氟結構，可耐受 SC1、SC2、49% HF、HNO3 與 NMP 等極端化學品，並提供超低溶出物與最高 180°C 耐溫性，是濕製程的可靠選擇。
適用什麼過濾精度？
本濾心提供 10nm 至 0.2µm 的精密攔截能力，適合半導體先進製程對微粒控制的高要求，協助守護製程良率與晶圓品質。
拋棄式為何適合半導體？
拋棄式囊式結構安裝更換快速，可避免清洗殘留造成的污染，搭配超低溶出物特性，能降低化學品交叉污染風險，符合先進製程的潔淨度需求。