過濾器與濾殼
PFA 高純度全氟過濾器濾殼
產品編號: pfa-filter-housing-fool-proof-lock|PFA
專為半導體先進製程設計的 AfsLock PFA 濾殼。具備 PPT (Parts Per Trillion) 等級潔淨度與專利鎖定設計，允許濾心與筒體一體化拆裝，實現「零接觸」濾心更換。大幅降低化學品接觸風險與微汙染，同時節省寶貴的機台空間。
- AfsLock PFA 濾殼，專為半導體先進製程設計
- PPT (Parts Per Trillion) 等級潔淨度
- 專利防呆鎖定設計
- 濾心與筒體一體化拆裝，實現零接觸濾心更換
- 降低化學品接觸風險與微汙染，並節省機台空間
應用場景
半導體先進製程化學品過濾
高潔淨度濕製程
零接觸濾心更換作業
機台空間受限的安裝
常見問題
什麼是「零接觸」濾心更換？
專利鎖定設計允許濾心與筒體一體化拆裝，更換時操作人員無需直接接觸濾心，大幅降低化學品接觸風險與微汙染。
為何適合半導體先進製程？
採用 PFA 材質並具備 PPT (Parts Per Trillion) 等級潔淨度，能維持製程化學品的極致純淨，是半導體先進製程的理想濾殼。
對機台空間有幫助嗎？
有。一體化拆裝的防呆鎖定設計簡化更換流程並節省寶貴的機台空間，適合空間受限的安裝環境。