驗證與服務
委託測試服務 - 濾心濾效測試
產品編號: filter-testing-retention-test-particle-challenge|微粒挑戰
專業的濾心過濾效能驗證服務。提供 SiO2 (50/100nm)、Gold (5/10/20/30nm) 與 Fe2O3 (15nm) 等高單分散性標準粒子作為挑戰物 (Challenge Particles)。針對半導體級濾芯進行截留效率 (Retention Efficiency)、LRV 計算與納汙量評估，協助客戶精確定義濾芯規格，滿足 7nm/5nm/3nm 製程需求。
- SiO2 (50/100nm) 二氧化矽標準粒子挑戰
- Gold (5/10/20/30nm) 金奈米粒子挑戰
- Fe2O3 (15nm) 氧化鐵標準粒子挑戰
- 高單分散性粒子確保挑戰結果可重現
- 提供截留效率、LRV 與納汙量綜合評估
- 對應 7nm/5nm/3nm 製程濾芯規格定義
應用場景
半導體級濾芯截留效率驗證
7nm/5nm/3nm 先進製程濾心選型
濾芯規格精確定義與比對
納汙量 (壽命) 評估
高單分散標準粒子挑戰委託
常見問題
有哪些標準挑戰粒子與尺寸？
提供三類高單分散性標準粒子：SiO2 (50/100nm)、Gold (5/10/20/30nm) 與 Fe2O3 (15nm)。可依濾芯標稱精度與目標製程選擇粒徑，模擬實際微粒挑戰並確保結果可重現。
測試能評估濾芯壽命嗎？
可以。除了計算截留效率與 LRV，本服務同時進行納汙量評估，協助您了解濾芯在實際使用下的容污能力與壽命表現，作為更換週期與成本規劃的參考。
如何協助先進製程選型？
針對半導體級濾芯進行客觀截留效率與 LRV 量測，協助您精確定義濾芯規格，確認是否能滿足 7nm/5nm/3nm 製程對微粒控制的嚴苛需求，降低選型風險。