專為半導體高腐蝕性濕製程與高潔淨化學品過濾設計的 PTFE 薄膜式濾心。採用專有氟聚合物薄膜微結構控制平台，建立高度連通、均勻且穩定的奈米級孔隙網絡，協助客戶在 SPM、SC1、SC2、TMAH、29% NH4OH、35% HCl、70% HNO3、磷酸、PAN、混酸蝕刻液與 NBA 等製程中取得更高濾效、更低溶出、更快清洗至 production ready。提供 10nm、20nm、30nm、50nm、0.1µm 等精度，222 Flat Cartridge 規格，樣品 ready。
| 項目 | 規格 / 選項 |
|---|---|
| 過濾精度 | 10nm、20nm、30nm、50nm、0.1µm 及其他規格 |
| 型式 | 222 Flat Cartridge｜10"、20" 及其他規格 |
| 直徑 | 68mm、82mm |
| O-ring | FFKM、EPDM、TEV 及其他材質 |
| 膜面積 | 68mm type：1.3 m² |
| 流量壓差 | 68mm type：0.5 kg/cm² @ 1 LPM；低壓差（高流量）選項可洽詢 |
| Bubble Point | > 400 kPa |
| 適用化學品（酸鹼 / 濕製程） | 各式酸鹼、SPM、SC1、SC2、TMAH、29% NH4OH、35% HCl、磷酸、PAN、70% HNO3、混酸蝕刻液 |
| 適用化學品（有機 / 特殊） | 丁醇（NBA）及其他需高潔淨、高耐化學性的製程化學品 |
| 樣品狀態 | 樣品 ready，可洽詢送樣與測試條件 |
註：實際相容性與壽命會受化學品濃度、溫度、流量、壓差、前段污染負載與濾殼設計影響，建議以實際製程條件進行樣品驗證。
不同於一般纖維深層攔截濾材，本產品以高階氟聚合物薄膜微結構工程為核心，建立更均勻、更連通且更可控的奈米級孔隙網絡。
以 PTFE 材質結合薄膜式微孔結構，兼具對強酸、強鹼與高腐蝕性製程化學品的相容性，以及薄膜濾材在高精度截留上的穩定表現。
更薄、更精密的 PTFE 薄膜微結構（<35µm），有助於降低沖洗負擔與初期釋出風險，使濾心更快清洗至 production ready，縮短導入、換線與量產等待時間。
高孔隙率設計提供更多有效流體通道，兼顧奈米級截留與可用流量、降低高精度濾心常見的高壓差痛點；均勻且連續的微孔網絡可降低局部流速差異、旁流與過早堵塞風險，使過濾表現更穩定、更可預期。
在 SPM、SC1、SC2、TMAH、HCl、HNO3、磷酸、PAN 與混酸蝕刻液等高腐蝕製程中，濾心除了要能承受化學品本身，還必須在奈米級污染物截留、低金屬溶出、低有機溶出、壓差與沖洗時間之間取得平衡。
半導體級 PTFE 薄膜式濾心以高度均勻的薄膜微孔網絡，提供穩定的奈米級截留與較可預期的流體通道表現，特別適合需要高潔淨度、高耐化學性與快速導入 production ready 的濕製程化學品過濾。
| 比較項目 | 一般 PTFE 摺疊濾心 | 半導體級 PTFE 薄膜式濾心 |
|---|---|---|
| 產品定位 | 一般氣體、液體或高腐蝕性應用 | 半導體高腐蝕濕製程與高潔淨化學品過濾 |
| 技術敘事 | 強調 PTFE 化學相容性與疏水性 | 強調氟聚合物薄膜微結構、奈米級孔隙均勻度與低溶出 |
| 過濾精度 | 常見為 0.1µm 以上與氣體除菌等用途 | 10nm、20nm、30nm、50nm、0.1µm 及其他選項 |
| 導入指標 | 依規格與相容性選購 | 同時強調濾效、壓差、NVR、Metal、production ready 時間 |
| 應用情境 | 一般工業、氣體、生技或腐蝕性液體 | SPM、SC1、SC2、TMAH、HCl、HNO3、PAN、混酸蝕刻液 |
