摺疊濾心
半導體級 全氟 PTFE 濾芯
產品編號: semi-grade-all-ptfe-cartridge-filter|Semi-grade All-PTFE
專為半導體濕製程設計的旗艦級全氟濾芯。採用高流速 PTFE 濾膜搭配 PFA 骨架，具備 10nm 至 0.2µm 的精密攔截能力。耐受 SC1, SC2, 49% HF, HNO3 與 NMP 等極端化學品，提供超低溶出物與卓越的耐溫性 (最高 180°C)，是先進製程良率的守護者。
- 100% 全氟結構:高流速 PTFE 濾膜搭配 PFA 骨架
- 10nm 至 0.2µm 精密攔截,守護先進製程良率
- 耐受 SC1、SC2、49% HF、HNO3 與 NMP 等極端化學品
- 卓越耐溫性,最高可達 180°C
- 超低溶出物,確保化學品絕對純淨
- 旗艦等級設計,專為半導體濕製程打造
應用場景
半導體濕製程化學品過濾
49% HF 氫氟酸過濾
SC1/SC2 清洗液過濾
HNO3 硝酸過濾
NMP 等高溫溶劑過濾
常見問題
這款濾芯能耐受哪些化學品?
本全氟濾芯可耐受 SC1、SC2、49% HF、HNO3 與 NMP 等極端化學品。採用 PTFE 濾膜搭配 PFA 骨架的 100% 全氟結構,化學耐受性極廣,是強酸、強鹼與侵蝕性溶劑製程的旗艦選擇。
耐溫到 180°C 有何意義?
最高 180°C 的耐溫性讓本濾芯能用於高溫製程化學品 (如熱 NMP) 與高溫清洗,並可承受熱循環。配合全氟結構與超低溶出物,確保高溫下仍維持化學品純淨,守護先進製程良率。
先進製程為何要用全氟濾芯?
先進製程對微汙染極為敏感。全氟 (PTFE/PFA) 結構提供超低溶出物與極廣化學耐受性,搭配 10nm 起的精密攔截,能在 49% HF 等極端化學品中維持純淨,直接守護良率,是經濟型方案無法取代的。