深層式濾心
半導體級 PP CMP 終端濾心
產品編號: semi-grade-pp-cmp-pou-filter|CMP POU
專為空間受限的先進 CMP 製程設計的 POU 濾芯。採用全聚丙烯 (PP) 材質與拋棄式囊式結構，具備體積小、成本低與更換安全的優勢。能有效去除 Slurry 中的團聚顆粒與膠體，同時保留有效研磨粒子，維持粒徑分佈 (PSD) 不變，防止晶圓刮傷。
- 專為空間受限的先進 CMP 製程設計的 POU 濾心
- 全聚丙烯 (PP) 材質與拋棄式囊式結構
- 體積小、成本低、更換安全
- 有效去除 Slurry 中的團聚顆粒與膠體
- 保留有效研磨粒子，維持粒徑分佈 (PSD) 不變防刮傷
應用場景
先進 CMP 製程終端 (POU) 過濾
空間受限的 CMP 機台
去除 Slurry 團聚顆粒與膠體
防止晶圓刮傷
常見問題
POU 終端濾心有什麼優勢？
採用拋棄式囊式結構，體積小、成本低且更換安全，特別適合空間受限的先進 CMP 機台作為終端 (Point-of-Use) 過濾使用。
會不會把有效研磨粒子也濾掉？
不會。濾心能去除 Slurry 中的團聚顆粒與膠體，同時保留有效研磨粒子，維持粒徑分佈 (PSD) 不變，避免影響研磨效果並防止晶圓刮傷。
材質是什麼？
採用全聚丙烯 (PP) 材質製成的拋棄式囊式濾心，化學相容性佳，且體積小、成本低、更換安全，適合空間受限的 CMP 終端 (POU) 過濾應用。