半導體製程過濾（Semiconductor Process Filtration）依晶圓廠實際製程段落分類，而非依濾心形式分類。浚淵科技將這條產品線切為三個製程區間：濕蝕刻與清洗（Wet Etch & Clean）、化學機械研磨漿料（CMP Slurry）、超純水（Ultrapure Water）。同一種材質在不同製程段的潔淨度要求、耐溫上限、可接受的溶出量都不同，用製程分類才能一次選對。
濕蝕刻與清洗段使用非對稱 PES 與各型 PTFE 濾心，需承受 SC-1、SC-2、SPM、BOE、DHF、TMAH 等化學品，耐溫自 38°C（HDPE 骨架）到 180°C（全 PFA 骨架），過濾精度自 1nm 到 10μm。CMP 段的挑戰不是「濾得越細越好」，而是精準攔截造成刮傷的團聚顆粒（Agglomerates）同時讓有效研磨粒子通過、維持漿料粒徑分佈（PSD）不變，因此深層式、繞捲式、摺疊式與複合式各有適用場景。超純水段則以大流量、長壽命、低金屬離子析出與快速導電度回復為核心指標。
每支濾心皆採用浚淵自有料號規則（JY-製程碼-系列-外徑-精度-長度-選配），可依外徑、精度、長度、端蓋型式、O-ring 材質、潔淨等級與包裝方式組合出實際訂購料號。所有規格皆建議以客戶實際製程條件送樣驗證後再定案。
製程 × 過濾精度對應
同一個製程段的精度需求跨距很大，選型時先確定製程段落在哪個區間，再往下挑材質與構型。
CMP 濾材結構對照
四種構型的攔截機制不同，適用的漿料條件也不同。實務上建議平行送樣，比較刮傷數與換心週期後再定案。
熔噴深層式
外疏內密的連續梯度，污染物分佈在整個厚度，納污量最大
JY-CM31D／CM32D
繞捲式
連續繞捲、纖維排列有序，孔徑分佈集中，攔截效率最高
JY-CM31R／CM32R
摺疊式
大面積、低壓差，適合高固含量與易團聚漿料
JY-CM33
外摺內繞複合式
外層摺疊擔納污、內層繞捲擔攔截，一支兼顧兩者
JY-CM61
製程化學品相容對照表
依實際半導體製程藥液逐一列出，對應本類別六種主要濾材。判定為通則性建議，實際濃度、溫度與暴露時間會改變結果。
| 化學品／條件 | 非對稱 PES | 疏水 PTFE | 改質 PTFE | PP | Nylon 66 | UPE／ HDPE |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DIW／UPW 常溫 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| SC1（NH₄OH/H₂O₂） ≤80°C | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | △ | ○ |
| SC2（HCl/H₂O₂） ≤80°C | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | △ | ○ |
| SPM（H₂SO₄/H₂O₂） 125–160°C | ✕ | ◎ | △ | ✕ | ✕ | ✕ |
| H₂SO₄ 98% 20°C | △ | ◎ | ○ | △ | ✕ | △ |
| HNO₃ 70% 20°C | △ | ◎ | △ | △ | ✕ | △ |
| H₃PO₄ ≤60°C | ○ | ◎ | ◎ | ○ | △ | ○ |
| HCl 37% 20°C | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | △ | ○ |
| DHF 10% 20°C | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | △ | ○ |
| BOE（NH₄F:HF） 20°C | ○ | ◎ | ◎ | ○ | △ | ○ |
| TMAH 5% 20°C | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ◎ |
| NH₄OH 30% 20°C | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ◎ |
| H₂O₂ 30% 20°C | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | △ | ○ |
| IPA 20°C | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| PGMEA／PGME 20°C | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ◎ |
| O₃ 水 10 ppm 20°C | △ | ○ | △ | △ | ✕ | △ |
| CMP 漿料（矽石／氧化鋁） 常溫 | ◎ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ◎ |
- ◎ ＝ 長期相容，可直接選用
- ○ ＝ 一般相容，注意濃度與溫度上限
- △ ＝ 條件性相容，需先做浸泡測試
- ✕ ＝ 明顯不相容或失去機械強度
本表為選型起點，非驗收依據。導入前請以實際藥液濃度、溫度與運轉時間做浸泡測試與流量／完整性複驗。
同製程的其他選項
以下產品同屬這三個製程段，但依形式歸在其他類別。點進去可看完整規格與料號建構表。
半導體級 PES 摺疊濾芯（HDPE 骨架）
非對稱 PES／HDPE·全氟骨架 1nm–1µm 70°C
半導體級 PES/PP 摺疊濾芯
非對稱 PES／PP 骨架 5nm–1µm 90°C
半導體級 全氟 PTFE 濾芯
疏水 PTFE／全 PFA 骨架 10nm–10µm 180°C
半導體級 全氟 PTFE 一體拋棄式濾心
一體成型 In-line／T-flow 10nm–1µm 180°C
半導體級 PTFE HDPE 混合濾芯
PTFE 三型可選／HDPE 骨架 20nm–1µm 70°C
半導體級 PTFE/PP 摺疊濾芯
PTFE 三型可選／PP 骨架 20nm–1µm 90°C
常見問題
為什麼半導體濾心要用製程分類，不用材質分類？
CMP 濾心是不是精度越細越好？
深層式、繞捲式、摺疊式、複合式 CMP 濾心怎麼選？
全氟（PFA）骨架和 HDPE／PP 骨架差在哪？價差值得嗎？
超純水系統前置該用繞捲式還是熔噴式 PP 濾心？
浚淵的料號怎麼看？
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選型前先看懂原理與規格判讀，比較不會買錯。
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